VirtualLab：光栅的优化与分析

光栅是光学工程师使用的最基本的工具。为了设计和分析这类组件快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion为用户提供了许多有用的工具。其中包括参数优化以轻松优化系统以及参数运行它允许您执行参数扫描以研究这些参数对设置的总体效果的影响。此外还可以用于详细研究具体制造过程中的偏差引入的影响。不同的求解器也可以供您使用来模拟场与光栅的相互作用具有不同的假设和相应的近似水平。这些方法的范围从严格的傅里叶模态法FMM到适用于具有浅浮雕大型结构的薄元近似法TEA。薄元素近似法TEA对比傅里叶模态法FMM进行光栅建模研究了两种常用但原理不同的分析光栅衍射效率的算法 TEA和FMM也称为RCWA。比较了不同周期的两种类型的光栅正弦和闪耀结果。倾斜光栅的参数优化及公差分析以傅里叶模态法FMM作为参数优化的核心设计了一个倾斜光栅来实现高衍射效率将光耦合到光波导中的目的。此外还分析了包括圆角边缘在内的制造公差。