52：EAP与MES深度对接、工单全流程交互规范

52EAP与MES深度对接、工单全流程交互规范一、本课学习目标理清EAP与MES系统数据交互边界、上下游业务分工掌握工单从下发、开工、生产、完工、异常回传完整交互流程熟悉MES与EAP交互核心报文、字段规则、时序要求定位工单交互类高频故障形成标准化排查步骤建立工单对接运维规范杜绝批次错跑、工单漏闭环问题二、MES与EAP核心分工界定MES系统职责生产工单创建、Lot批次管理、生产计划排程管控物料FOUP、载具、工艺版本、标准Recipe下发收集生产履历、产能统计、停机时长、不良记录生产权限管控、工单锁单、批次报废判定EAP系统职责接收工单基础信息校验机台、腔体、配方匹配性下发Recipe至机台驱动自动化生产流程实时回传机台状态、报警、上下料、工艺启停事件生产完成上报LotEnd同步生产参数、加工时长至MES生产异常实时推送触发MES工单暂停、锁定逻辑交互核心原则MES下发生产指令EAP执行设备控制设备所有实时状态、异常数据单向回传MES。三、工单交互前置基础配置1. 通信对接配置对接方式Socket长连接、数据库中间表、HTTP接口FAB主流Socket关键参数MES服务器IP、端口、通信心跳周期、报文编码统一UTF-8身份标识产线编号、机台EQP ID、腔室Chamber ID全局唯一2. 基础映射配置Lot字段映射LotID、Wafer数量、产品型号、工艺流程、版本号Recipe映射MES配方编码与机台本地Recipe名称一一绑定状态映射机台Idle/Ready/Run/Pause/Alarm与MES生产状态对齐停机代码映射机台ALID报警对应MES停机分类代码3. 权限与联锁配置无有效工单时EAP禁止自动启动生产MES工单锁定/暂停后EAP拦截所有Start启动指令跨批次混跑拦截未上报LotEnd禁止加载新批次四、标准工单全流程交互步骤步骤1MES工单下发MES推送LotStart工单信息至EAP携带完整批次、配方、物料信息EAP校验机台是否空闲、配方是否存在、FOUP物料是否匹配校验通过缓存工单校验失败立即回传异常报文MES标记工单异常步骤2载具上料、核对物料AMHS运送FOUP至Load PortEAP读取FOUP ID、Slot晶圆信息EAP对比FOUP批次与MES工单LotID物料一致允许开门进片物料不匹配触发联锁推送物料异常至MES工单暂停步骤3配方下载与激活EAP根据工单绑定Recipe执行S7F3配方下载至机台下载完成S7F17激活配方校验配方参数无越限配方异常回传MES工单停滞等待工艺人员确认步骤4批次开工Lot Start上报机台腔体进入Run加工状态EAP发送S6F13开工事件至MESMES接收后标记工单正式生产开始计时稼动时长同步采集初始工艺参数、机台编号、操作人员信息上传步骤5生产过程实时数据回传运行中持续推送腔体状态、实时报警、分段工艺事件Trace工艺数据同步转发FDC同时简要加工信息同步MES中途触发报警Pause时立即上报停机事件与对应停机代码步骤6加工完成Lot End完工闭环整批次所有晶圆加工完毕机台回到Idle状态EAP推送LotEnd完工事件携带总加工时长、良率、最终工艺参数MES接收后工单正常闭环释放该批次FOUP允许下达下一批工单步骤7异常工单处置流程严重报警、晶圆异常、设备故障EAP上报故障事件停机代码MES自动锁定工单禁止继续生产故障修复、清除联锁复位后人工确认恢复或工单报废五、交互核心S6事件与关键字段CEID-LotStart批次开工核心字段LotID、EQP、Recipe、WaferCountCEID-LotEnd批次完工核心字段总时长、加工参数、状态结果CEID-LoadFOUP载具上料校验FOUP与工单匹配性CEID-UnloadFOUP载具下料批次结束物料归位CEID-ProcessPause生产暂停绑定停机ALID报警代码CEID-ProcessResume故障复位恢复生产六、EAP-MES对接高频故障与排查流程故障1MES工单下发EAP收不到任何工单信息排查顺序网络层Ping MES服务器核对防火墙端口是否放行接口状态查看EAP-MES长连接是否断开、心跳是否中断配置核对双方IP、端口、编码格式是否修改根因接口断连、服务器防火墙拦截、心跳超时自动断联故障2EAP收到工单校验失败无法启动生产常见原因工单绑定Recipe在机台本地不存在FOUP物料LotID与工单批次不匹配机台存在未清除历史Lot未闭环处理核对配方清单、扫码校验FOUP、强制闭环残留旧批次故障3机台正常Run生产MES无LotStart开工记录排查顺序EAP日志是否成功生成S6F13开工事件报文抓包事件是否成功发送至MESMES侧接收服务是否宕机、字段格式不识别根因事件字段缺失、MES接收服务异常、报文乱码故障4批次加工完成MES工单无法闭环原因LotEnd事件丢失、传输中途丢包工单关键字段缺失MES校验拦截中途存在未清除异常停机标记处理手动补发LotEnd事件、清除工单异常标记、核对完整字段故障5MES工单锁定EAP无法启动生产根因MES标记工单不良/暂停、EAP存在未上报故障事件处理在MES解锁工单、EAP同步上报故障复位事件七、工单对接运维红线规范量产时段禁止随意修改EAP-MES接口IP、端口、字段映射配置不允许跳过LotEnd闭环直接加载新工单易造成MES批次台账错乱物料FOUP与工单批次不匹配时严禁人工强制旁路校验启动生产批量工单下发错峰执行避免同一时段大量报文导致接口拥塞丢包工单交互日志至少留存90天用于批次追溯、不良复盘RCA分析八、本课核心总结MES管生产计划与工单台账EAP负责设备执行与数据回传分工明确不可越权。完整工单链路工单下发→物料核对→配方下载→LotStart开工→生产加工→LotEnd完工闭环。工单交互故障分层排查网络接口→配置映射→报文事件→MES接收服务。物料校验、工单闭环、异常停机上报是保障批次追溯的三大核心控制点。所有工单交互事件依托S6F13报文传输CEID区分开工、完工、暂停、上下料动作。九、课后小作业MES和EAP各自负责哪些核心工作简述标准工单从下发到完工闭环完整交互步骤。MES下发工单EAP完全接收不到按顺序写出排查步骤。机台正常运行但MES无开工记录主要排查哪两点工单运维有哪五条不可违反的操作红线